测量中心距离为20 ～ 1,500 mm的各种型号。 
最大分辨率达0.25 μm。 
最大响应速度达110 μs。 
支持并行输出。

重视性能的最佳传感器头尺寸和3点式固定构造确保出众的传感稳定性。（参见注释）

注：ZS-HLDS2T 不可用。

通过提高受光透镜的灵敏度和分辨率，使光学系统最优化，从而大幅度降低移动分辨率误差（因工件表面位置引起的误差）。

CCD在受光量过多时电荷会溢出至相邻的像素。CMOS避免了这种现象，不会受不同材质或受光过多导致的光量变动影响。

降低决定测量精度的不同物体之间的差异。 
因此，可以更方便地应用于检测对象物。

行业首创的1,500mm长距离检测，可以测量以往无法测量的点。

注：此功能可能在明亮环境中无效。

可稳定测量倾斜工件和移动工件。

专门为ZS-HLDS2VT开发的非球面透镜，采用的光学结构设计最适用于正反射工件。显著扩大了允许倾斜的角度，并提高了测量透明工件和正反射工件的稳定性。

在半导体晶圆片、玻璃等要求精度高的测量上具有压倒性的优势。

令人难以置信的测量精度0.25μm，同级产品的最高水平。

注：ZS-HLDS5T型：L = 50，A = 30° 
ZS-HLDS10型：L = 100，A = 25°

注：ZS-HLDS60型：L = 600，A = 7° ZS-HLDS150型：L = 1500，A = 3°

注：ZS-HLDS2VT型：L = 25，A = 34.5° 
ZS-LD20T/20ST型：L = 20，A = 45° 
ZS-LD40T型：L = 40，A = 32°

注：面板厚度为0.2mm的尺寸图。